Home / Standards / YS/T 935-2013 YS/T 935-2013 Active 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南 Standard Type YS ICS N/A CCS N/A Status Active Issue Date 2013-10-17 Implementation 2014-03-01 Centralized Committee 工业和信息化部 Issuing Authority 工业和信息化部