Home / Standards / YS/T 893-2013 YS/T 893-2013 Active 电子薄膜用高纯钛溅射靶材 Standard Type YS ICS N/A CCS N/A Status Active Issue Date 2013-10-17 Implementation 2014-03-01 Centralized Committee 工业和信息化部 Issuing Authority 工业和信息化部