SJ/T 11829.1-2022

Active

晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备

Standard Type
SJ
ICS
N/A
CCS
N/A
Status
Active
Issue Date
2022-10-20
Implementation
2023-01-01
Centralized Committee
工业和信息化部
Issuing Authority
工业和信息化部