SJ/T 11761-2020

Active

200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

Standard Type
SJ
ICS
N/A
CCS
N/A
Status
Active
Issue Date
2020-12-09
Implementation
2021-04-01
Centralized Committee
工业和信息化部
Issuing Authority
工业和信息化部