JB/T 8945

📋 Scope / 适用范围 ai_extracted

本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包 装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10-4~5×10-3 Pa 范围的真空贱射镀膜设备（以下简称设备）。

📝 Foreword / 前言 ai_extracted

本标准由全国真空技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：广东真空设备厂股份有限公司、上海真空泵厂、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：蔡东锋、张远青、李春影、李玉英。 JB/T 8945－1999

📚 References & Relations / 引用与关联