JB/T 53021

📋 Scope / 适用范围 ai_extracted

本标准规定了真空镀膜设备（以下简称产品）的质量等级、检验规则和评定方法。 本标准适用于压力在10–4~10–3 Pa 范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。

📝 Foreword / 前言 ai_extracted

本标准是对JB/T 53021—92《真空镀膜设备 产品质量分等》进行的修订。此次修订，对其主要 技术内容作了大的修改。 本标准自实施之日起代替JB/T 53021—92。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：李玉英、李春影。 本标准于1992 年首次发布。 JB/T 53021－1999

📚 References & Relations / 引用与关联