GB/T 43894.2-2026

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Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 2: Roll-off amount（ROA）

半导体晶片近边缘几何形态评价 第2部分：边缘卷曲法（ROA）

Standard Type
GBT
ICS
77.040
CCS
H21
Status
即将实施
Issue Date
2026-01-28
Implementation
2026-08-01
Responsible Dept
国家标准委
Drafting Unit
N/A