GB/T 43894.1-2024

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Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric（ZDD）

半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）

Standard Type
GBT
ICS
77.040
CCS
H21
Status
现行
Issue Date
2024-04-25
Implementation
2024-11-01
Responsible Dept
国家标准委
Drafting Unit
N/A