GB/T 42897-2023

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Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Standard Type
GBT
ICS
31.200
CCS
L59
Status
现行
Issue Date
2023-08-06
Implementation
2023-12-01
Responsible Dept
国家标准委
Drafting Unit
N/A