GB/T 42896-2023

Active

Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

Standard Type
GBT
ICS
31.200
CCS
L59
Status
现行
Issue Date
2023-08-06
Implementation
2023-12-01
Responsible Dept
国家标准委
Drafting Unit
N/A