GB/T 42709.5-2023

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Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 5: RF MEMS switches

半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关

Standard Type
GBT
ICS
31.200
CCS
L40
Status
现行
Issue Date
2023-05-23
Implementation
2023-09-01
Responsible Dept
工业和信息化部（电子）
Drafting Unit
N/A