GB/T 31058-2014

Active

Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride

电子工业用气体 四氟化硅

Standard Type
GBT
ICS
71.100.20
CCS
G86
Status
现行
Issue Date
2014-12-22
Implementation
2015-07-01
Responsible Dept
国家标准委
Drafting Unit
N/A