GB/T 26067-2010

Active

Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers

硅片切口尺寸测试方法

Standard Type
GBT
ICS
29.045
CCS
H80
Status
现行
Issue Date
2011-01-10
Implementation
2011-10-01
Responsible Dept
国家标准委
Drafting Unit
国家标准委