Home / Standards / GB/T 21287-2007 GB/T 21287-2007 Abolished Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride 电子工业用气体 三氟化氮 Standard Type GBT ICS 71.100.20 CCS G86 Status 废止 Issue Date 2007-12-14 Implementation 2008-07-01 Responsible Dept 国家标准委 Drafting Unit 国家标准委