GB/T 20307

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General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM 中标分类: 仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器 ICS分类: 计量学和测量、物理现象>>17.040 长度和角度测量 成像技术>>37.020光学设备 发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

Standard Type
GBT
ICS
N/A
CCS
N33
Status
现行
Issue Date
2006-07-19
Implementation
2007-02-01
Responsible Dept
全国微束分析
Drafting Unit
中国科学院地质与地球物理研究所、同济大学,中国科学院化学所,中国地质科学院矿产资源研究所,上海理工大学