GB/T 19921-2005

📖 Terms & Definitions / 术语和定义 ai_extracted

捕获率capture

rate 扫描表面检查系统在一确定的设置下运行时，检查系统探测到的局部光散射体的乳胶球当量信号 的概率。

动态范围dynamic

range 随着一种测试条件的设定，扫描表面检查系统可收集信号的覆盖范围。

等效尺寸准确度equivalent

sizing accuracy 在抛光片上沉积的、特定标称尺寸的、单个分散的聚苯乙烯乳胶球的测量尺寸分布的变化系数与由 聚苯乙烯乳胶球状悬浮体供应商所提供的球的标称尺寸分布的变化系数之比。

延伸光散射体extended

light scatter er 一种特征，比检测设备的空间分辨率大。位于晶片表面或近表面，因而引起了相对于晶片周围光散 射强度的增强;有时也称为一种区域缺陷，记为X1.S.

虚假的计数

false count 由设备原因引起的，而不是来自抛光片表面或近表面的激光散射现象的发生。也称为正向虚假计 t GB/T 19921-2005 数或正向误报计数

雾

haze 由抛光片表面形貌(微粗糙度)及表面或近表面处高密度的不完整性引起的非定向光散射。

分布图histogram

一种分立的数据组的矩形图示，矩形的宽度正比于数据组的尺寸，每个矩形的高度比例于相应尺寸 发生的频度(即数量)。

激光光散射现象laser

light-scattering event 由检查系统的探测器检测到的、超出预置阑值的信号脉冲，是由于激光束与抛光片表面的局部光散 射体相互作用产生的。也可见“雾”

乳胶球当f

latex spher e equivalent 在相同的测试条件下，局部光散射体与单个分散的聚苯乙烯乳胶球产生的散射强度相同时，该乳胶 球的直径等效局部光散射体的直径。也称为乳胶球当量(PSL当量)，常记为LSE.

局部光散射体localized

light scatterer 一个孤立的特征。在抛光片表面上任何一个颗粒或一个坑相对于周围的抛光片表面造成光散射强 度的增加 有时也称为亮点缺陷。常记为LLS, 3. 11 亮点缺陷 li ght point defect 见局部光散射 常记为LPD 3. 12 漏报的计数missing count 一个局部光散射体不能产生激光散射现象的情况。也称为负向漏报计数。 3. 13 微粗糙度micror oughness 表面结构的更狭窄的间隔分量。

标称球的尺寸分布nominal

sphere size distribution 用于校准扫描表面检查系统的一种特定的，标准尺寸的聚苯乙烯乳胶球在悬浮液中的直径分布 状况。

聚苯乙烯乳胶球polystyr

ene latex sphere 校准扫描表面检查系统所用的参考样片上沉积的单个分散的聚苯乙烯材料的乳胶球。常记 为PSL 3. 16 定位准确度positional accuracy 由扫描表面检查系统报告的，来自于抛光片上的局部光散射体与其在抛光片表面的真实位置的 偏差 z GB/T 19921- 2005

重复性

r epeatability 由一个评价方，采用一种测量仪器，多次测量同一样品的同一特性时，获得的测量值的变差。

再现性

r eproducibility 由不同的评价方，采用相同的测量仪器，测量同一样品的同一特性时，获得的测量平均值的变差。

扫描表面检查系统scanni

ng surface inspection system 用于抛光片表面全部质量区域的快速检查设备。它可以分别或同时检测局部光散射体(LLS)及雾 (Haze)。常记为SSIS。也称为激光表面扫描仪(Laser surface scanner)和微粒计数器(Particle count- er)

划痕

scratch 在切割、研磨抛光过程中硅片表面被划伤留下的痕迹，其长宽比大于5;1,

闭值

threshold 为了辨别不同大小的信号，扫描表面检查系统中设置的最小检测信号的起始水平。