GB/T 19500-2004

📋 Scope / 适用范围 ai_extracted

本标准规定了X射线光电子能谱（XPS, X-ray Photoelectron Spectroscopy或ESCA, Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）的一般表面分析方法以及相关的表面化学分析术语的含义，适用 于X射线光电子能谱仪。

📚 References & Relations / 引用与关联

📖 Terms & Definitions / 术语和定义 ai_extracted

定f分析quantitative

anal ysis 对样品中被分析物数量的确定。 注1：分析物可以是天然的元素或化合物。 注2：数量可表示为原子或质量百分数、原子或质量分数、每单位体积的摩尔或质量、每单位面积的（原子）数、每单 位体积的（原子）数或按要求所设。 注3：样品材料可能是非均匀的，因此在解释中要应用特定的模型结构，并且需说明该模型的细节。

电子减速

electron retardation 在电子能量分析器前或分析器内使电子运动速度降低后测定动能分布的方法。

峰一本底比peak-to

-background ratio 本底强度以上峰的最大高度与本底高度之比。 注：需给出测定本底的方法。

峰宽或线宽

peak wi dth or line width 在峰高度某个确定的分数处的峰的宽度。 注1：应说明所用的扣除本底方法。 注2：最通用的峰宽测量是取在最大峰高一半处峰的宽度。 注3：对不对称峰而言，简便的测量是取在峰的每侧最大强度一半处的宽度。

飞离角

take -off angle 光电子在其离开固体表面时的轨迹和该处或平均表平面之间的角度。 注1：需要给定特定的表平面。 注2：飞离角与发射角互为余角。 注3：从前，飞离角有时被错误地意指为发射角。 GB/T 19500-2004

峰面积peak

area 谱图中扣除本底后峰所包含的面积。 参照：非弹性电子散射本底扣除。

非弹性电子散射本底扣除inelastic

electron scatteri ng background subtraction 校正非弹性电子散射对本底贡献的方法。 注：常用模拟峰本底的方法估计，估计时假定本底上升是线性的或正比于较高动能处的峰面积，如同Shirley本底那 样。更精确的校正方法是解叠分别测量的电子能量损失谱。

固定分析器能f方式

constant AE mode; constant analyzer energy mode; CAE mode; fixed analyzer transmission mode; FAT mode 电子能量分析器的一种工作方式。该方式改变电子减速电位，但电子通过分析器色散的能量保持 不变。 注：XPS中常用的方式，此时在收谱期间能量分辨率高且保持不变。

光电效应

photoelectric effect 光子与原子、分子和固体中束缚电子的相互作用，导致光电子的生成。 3. 10 光电发射 photoemission 由光电效应引起原子或分子中的电子发射。 3. 11 结合能 bi nding energy 将特定能级上的电子移到固体费米能级或移到自由原子或分子的真空能级所需消耗的能量。

计数

counts 在一定时间内检测器系统记录到的脉冲总数。 注：计数可以不同方式表示，对粒子数一一检测时（计数测量中没有死时间损失），遵从泊松（Poisson)统计（除存在 其他噪声源外），或简单地正比于检测粒子数，故需要明确说明计数方式。 3. 13 每通道能f（步长）energy per channel 能谱中相邻通道（即收谱时的最小能量范围）间的能量差。

能f分辨率energy

resolution 对单能量粒子而言，是所测能量分布最大高度一半处的全宽（FWHM) e

通能

pass energy 电子能量分析器能量色散部分中被检测电子的平均动能。 3. 16 特征X射线characteristic X-rays 由离子化原子发射出的光子，它具有特定的能量分布和具有不同原子序数和化学环境的强度特征。 注：在XPS中，这个术语通常应用于激发样品中光电子的X射线源。 cB/T 19500-2004

X射线线宽

X-ray linewidth 主要特征X射线的能量宽度。 注1：在XPS中X射线线宽常指x射线源的线宽。 注2:X射线线宽对光电子峰宽有影响。 3. 18 X射线光电子能谱 X-ray photoelectron spectroscopy, XPS 一种使用电子谱仪测量X射线光子辐照时样品表面所发射出的光电子和俄歇电子能量分布的 方法。 注：通常用的X射线源是非单色化的Al和Mg的Ka X射线，其能量分别为1486. 6 eV和1253.6 eV。现代谱仪也 使用单色化的Al Ka X射线。一些谱仪使用其他阳极或者同步辐射所产生的不同的X射线源。 3. 19 逸出功 work function 电子在费密能级和正好在指定表面外最大电势处之间的电势差。 注1：通常单晶不同晶面的逸出功是不同的。逸出功也与晶体表面的清洁状态有关。 注2：多晶表面展示平均逸出功，它与所暴露组成的单晶面的类型和面积有关。

与角度有关的XPS

Angle-resol ved XPS,ARXPS;Angle-Dependent XPS,ADXPS 测量X射线光电子强度和发射角之间函数关系的一种方法。 注：这个方法通常被用来获得不同元素或化合物在表面约为（ (0-10) nm厚度范围内深度分布的信息。

元素相对灵敏度因子relati

ve elemental sensitivity factor 正比于绝对元素灵敏度因子的系数，比例常数的选取是使所选元素的特定跃迁其值是to 注1：通常所用元素的跃迁，对XPS采用C18或F1、为基准。 注2：所用的灵敏度因子种类应适用于例如均匀样品或偏析层的分析。 注3：为了应用合适的基体或其他参数，应给出灵敏度因子的来源。 注4:灵敏度因子与激发源、谱仪和样品对仪器的上述部件取向等参数有关，灵敏度因子也与待分析的基体有关。

自旋轨道分裂spin

orbit splitting 由自旋和轨道角动量祸合而引起原子的p,d或f能级的分裂。