Home / Standards / GB/T 18682-2002 GB/T 18682-2002 Active Specifications of physical vapour deposition TiN films 物理气相沉积TiN薄膜技术条件 Standard Type GBT ICS 25.220.20 CCS A29 Status 现行 Issue Date 2002-03-10 Implementation 2002-08-01 Responsible Dept 中国机械工业联合会 Drafting Unit 中国机械工业联合会