GB/T 16594

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General rules for measurement of length in micron scale by SEM

微米级长度的扫描电镜测量方法通则

Standard Type
GBT
ICS
71.040.99
CCS
N53
Status
现行
Issue Date
2008-09-18
Implementation
2009-05-01
Responsible Dept
国家标准委
Drafting Unit
国家标准委

📋 Scope / 适用范围 ai_extracted

本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法,适用于测量。. 5^-10 Km的长度,也适用于电子 探针分析仪测量微米级长度。

📝 Foreword / 前言 ai_extracted

本标准是一个测量方法标准,其量值可以溯源到长度基准。 本标准主要用于测量微小颗粒的直径、薄层厚度、线条宽度、线条距离、线维直径、刀刃的曲率半径 本标准可与JJG550-88扫描电子显微镜检定规程并列使用。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位:上海市测试技术研究所、中国船舶总公司725研究所。 本标准主要起草人:张训彪、徐国照、高文华。 中华人民共和国国家标准 微米级长度的扫描电镜测量方法 Ga/T 16594一1996 Micron grade lenght measurement by SEM

📚 References & Relations / 引用与关联

normative_reference JJG550-88

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