GB/T 1558-1997

📋 Scope / 适用范围 ai_extracted

本标准规定r硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 本标准适用于载流子浓度小于5 X to"' cm-',室温电阻率大于。lfb"cm的硅单晶中代位碳原子 浓度的测定 由于碳也可能存在于间隙位置，因而本方法不能测定总碳浓度。 本标准也适用于硅多晶中代位碳原子浓度的测定。其晶粒界间区的碳同样不能测定 本标准测量碳原子浓度的有效范围为:室温下从硅中代位碳原子浓度1 X 10`0 at " cm-' (200 PPba) 到碳原子的最大溶解度，77 K时下限降到5 X 10" at·cm '(100 PPba)

📝 Foreword / 前言 ai_extracted

本标准等效采用ASTM F 123-91K硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》对我国标准 GB 1558-83K测定硅晶体中代位碳含量的红外吸收方法》进行修订而成的 本标准对GB 1558-83中半值宽度的定义和试样厚度的要求按ASTM F 123-91作了修订 本标准在编写时略去了ASTM F 123-91的第5章“意义和用途”，将ASTM F 123的第8章“取 样”和第9章“测试样品和参比样品”合并为本标准的第7章“试样制备”以使标准简单、明了 本标准从1998年8月1日起实施。本标准生效之日起，同时代替国家标准GB 1558-83 本标准的附录A是提示的附录。 本标准由中国有色金属工业总公司提出。 本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。 本标准由峨眉半导体材料厂负责起草。 本标准主要起草人:梁洪、刘文魁、吴福立。 本标准1979年6月首次发布，1997年第二次修订。 中华人民共和国国家标准 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 GB/T 1558- 1997 代替GBI558-- 83 Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

📚 References & Relations / 引用与关联