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半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 5: RF MEMS switches

北斗/全球卫星导航系统（GNSS）高精度片上系统（SoC）技术要求及测试方法

Technical requirements and testing methods of BDS/GNSS high precision system on chip (SoC)

微机电系统（MEMS）技术 术语

Micro-electromechanical system technology—Terms

MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device

半导体器件 机械和气候试验方法 第23部分：高温工作寿命

Semiconductor devices—Mechanical and climatic test methods—Part 23:High temperature operating life

半导体器件 机械和气候试验方法 第42部分：温湿度贮存

Semiconductor devices—Mechanical and climatic test methods—Part 42:Temperature and humidity storage

有质量评定的声表面波滤波器 第1部分 ：总规范

Surface acoustic wave (SAW) filters of assessed quality—Part 1:Generic specification

微波电路 电调衰减器测试方法

Microwave circuit—Measuring methods for electrically controlled attenuator

微波半导体集成电路 放大器

Microwave semiconductor integrated circuits—Amplifier

微波半导体集成电路 混频器

Microwave semiconductor integrated circuits—Frequency mixer

半导体集成电路 模拟数字（AD）转换器

Semiconductor integrated circuits—Analog digital（AD） converter

半导体集成电路 片上系统（SoC）

Semiconductor integrated circuits—System on chip(SoC)

半导体集成电路 霍尔电路测试方法

Semiconductor integrated circuits—Measuring method of Holzer circuit

有质量评定的石英晶体振荡器 第4-1部分：空白详细规范 能力批准

Quartz crystal controlled oscillators of assessed quality—Part 4-1: Blank detail specification—Capability approval

半导体器件 微电子机械器件 第19部分：电子罗盘

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 19: Electronic compasses

半导体集成电路 直接数字频率合成器测试方法

Semiconductor intergrated circuits—Test method of direct digital frequency synthesizer

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

半导体器件 分立器件 第7部分：双极型晶体管

Semiconductor devices—Discrete devices—Part 7:Bipolar transistors